废气处理设备会用到风机将气体引入废气处理设备，我们应该要定期进行维护，避免漏油和脱焊，避免金属磨擦造成高温和燃烧。工业废气处理装置和管道的原材料如果采用的是比较容易产生静电的塑料，我们应该实行举措，因为它在直角和三通处是比较容易产生静电的。提议还是采用绝缘或的材料。在管道的设计和加装的时候，要考虑到倾斜度，设计倾斜度的目的是为了方便液体沉积物能够排出来，避免多种液体沉积物堆积在一起而引发的二次引爆。还需要定期清洗一下管道较好，各工厂的排气管支管之上应加装阻火器，避免发生火灾时起火扩散。排放处置管道应使用不锈钢材质。
聚丙烯（PP）是容易易燃的材料，由PP制成的喷淋塔应该使用离心泵等。电机安装应尽可能远离塔架。如果潜水泵的泵体被异物卡住了，会造成电机发热过烫。如果是电路出现问题，开关不跳会造成电机着火，造成喷淋塔着火。因此，应去除老化和短路现象。
UV光氧催化适用于处理低浓度废气的排放。造成火灾事故的主要原因是废气在管道中积聚，造成废气浓度过高。电路电气失灵会产生火花引发大火和爆炸。因此，在开启该设备之前，应提早开启风机，管道内的废气有所降低再开启设备，以灾的发生。
等离子体引发事故的主要是由电场故障造成的电火花和高压产生的电弧引发的。等离子体适用处理低浓度废气。此外，等离子体装置的一极电阻部件应每月抽出一次进行的清洗，等离子体装置的所有电极，看情况几个月抽出一次进行清洗。
RTO催化点燃引爆的主要因素是气体的浓度或进气量过高，造成燃烧室温度在短时间段之内。高温与废气混合会导致RTO排放口爆炸。如果进气口没有加装阻火器，进气管就会起火。
使用活性炭吸附法或活性炭吸附解吸催化燃烧法时，应掌控活性炭罐温度，防止活性炭自燃。吸附解吸催化点燃步骤应具备氮气保护功能；
催化燃烧着火爆炸的主要原因是排放含量浓度过高。排放浓度应低于爆炸上限25%以下。应安装一个浓度测量设备，并应加装空气冷却器。为避免排放在催化床燃烧时火焰蔓延，废气净化装置需加装阻火器。如果装置之内积存有污油、冷凝液等可燃物质，设备受热后会转化为易燃易爆液体，因此在点燃后应将这些物质去除。
