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    半导体废气处理设备案例

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    半导体废气处理设备我们公司一直在做的,有着丰富的实战经验和产品设计制造能力,支持视频验厂,欢迎实体考察。

    半导体废气处理设备我们公司一直在做的,有着丰富的实战经验和产品设计制造能力,支持视频验厂,欢迎实体考察。

    半导体工业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量的有机成分。在此过程中,这些有机溶剂大部分挥发到废气中。目前,焚烧这种处理净化方式较为适用于这种气体排放。

    一般半导体行业针对废气处理的解决方案如下:

      (1)预处理阶段:采用喷淋塔先对废进行预处理,去除粉尘以及易溶于水的有害气体。

      (2)主要处理阶段:在此阶段,比较常见而有效方法有:UV光解,生物过滤分解,焚烧和催化燃烧等。

    半导体废气处理厂主要废气有非甲烷总烃、氮氧化物、二氧化硫等,酸碱类,成分:氨气、硫酸雾、氟化物、氯化物、氯气等。

    我们可以采用组合形式的来进行治理。UV光解净化器,催化燃烧设备等废气治理设备,我们公司都有,欢迎咨询。




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